对于真空烧结炉热处理工艺，第一个问题就是温度。电阻丝加热的真空烧结炉会受到最高温度的限制。这里有三种不同的保温材料：陶瓷纤维保温材料，金属（钼或钨）防辐射屏障和石墨毡。铁铬铝和硅钼棒是常见的二种加热元件。热导率低的陶瓷纤维被用于隔绝热量。这二种加热元件需要在氧气气氛下加热，使其表面形成氧化保护层。钼或钨的加热元件的隔热材料是由其本身材料做成的防辐射片。
这些防辐射片是由多层组成，用于反射热辐射，起到隔热的作用。这类加热元件和保温材料禁止含有氧化气氛。由于金属材料的蒸汽压低，可实现真空烧结炉高真空。石墨加热元件的隔热材料是石墨毡，要禁止含有氧化气氛。受到石墨蒸汽压的影响，在真空烧结炉加热过程中不可避免碳元素释放到炉膛中。不同的加热方式，有着不同的最高温度。第一个区间是从30-1300摄氏度，第二个区间从1300-3000摄氏度。
接下来的问题是决定真空烧结炉热处理工艺在哪种气氛下进行。不同的气氛下的温度范围以及不同的加热元件。最重要的是不同的气氛要匹配的加热元件。甚至可通入一氧化碳，氦气，氨气。根据以下规则：真空烧结炉最高温度1800摄氏度时，可以是空气或气氛，如：空气，氧气，氮气，氩气，氢气和各真空级别。如果真空烧结炉工作温度在1800-2200摄氏度之间，热处理工艺要在氮气，氩气，氢气及各真空等级下进行。如要求温度在2200-3000摄氏度，工艺必须在氩气气氛下进行。
总结：真空烧结炉热处理工艺的温度及气氛条件都已介绍清楚。加热元件及温度、气氛的关系可用于不同的炉子。另外，真空烧结炉的选型还与有效空间，装载等有关。
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